電子級氫氟酸技術(shù)

分類：含氟電子化學(xué)品技術(shù)
作者：
來源：
發(fā)布時間：2022-05-09
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【概要描述】將無水氟化氫經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后，進(jìn)入精餾塔通過精餾操作，得到氟化氫氣體經(jīng)冷卻后，在吸收塔中用超純水吸收，并采用控制噴淋密度

電子級氫氟酸技術(shù)

分類：含氟電子化學(xué)品技術(shù)
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　　1、工藝技術(shù)介紹

　　將無水氟化氫經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后，進(jìn)入精餾塔通過精餾操作，得到氟化氫氣體經(jīng)冷卻后，在吸收塔中用超純水吸收，并采用控制噴淋密度、氣液比等方法使電子級氫氟酸進(jìn)一步純化，隨后經(jīng)0.2um以下超濾工序，最后在密閉潔凈環(huán)境條件下進(jìn)行灌裝得到最終產(chǎn)品。

　　2、技術(shù)優(yōu)勢

　　(1)裝置占地小，技術(shù)成熟可靠，設(shè)備投資小。

　　(2)工藝成熟、可靠，合成率高。

　　3、工藝流程圖

3-8

　　4、產(chǎn)品指標(biāo)

　　表1 電子級氫氟酸產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)

項目	指標(biāo)
項目	EL級	UP級	UP-S級
氫氟酸（HF） w/%	49+0.5	49+0.5	49+0.5
色度≤	10	10	10
硅氟酸 H₂SiF₆ppb≤	100000	20000	20000
氯化物 Cl ppb≤	5000	5000	500
硝酸鹽 NO₃ppb≤	3000	3000	3000
磷酸鹽 PO₄ppb≤	1000	1000	100
亞硫酸鹽 SO3 ppb≤	5000	2000	200
硫酸鹽 SO4 ppb≤	5000	500	200
鋁（Al）ppb≤	100	10	1
砷（As）ppb≤	50	10	1
鋇（Ba）ppb≤	100	10	1
鈹（Be）ppb≤	20	5	1
鉍（Bi）ppb≤	20	5	1
鎘（Cd）ppb≤	50	10	1
鈣（Ca）ppb≤	100	10	1
鉻（Cr）ppb≤	20	10	1
鈷（Co）ppb≤	20	10	1
銅（Cu）ppb≤	20	10	1
鎵（Ga）ppb≤	20	10	1
鍺（Ge）ppb≤	20	10	1
金（Au）ppb≤	20	10	1
鐵（Fe）ppb≤	100	10	1
鉛（Pb）ppb≤	50	10	1
鋰（Li）ppb≤	20	5	1
鎂（Mg）ppb≤	200	10	1
錳（Mn）ppb≤	20	10	1
鉬（Mo）ppb≤	100	10	1
鎳（Ni）ppb≤	50	10	1
鉀（K）ppb≤	100	10	1
銀（Ag）ppb≤	20	5	1
鈉（Na）ppb≤	200	10	1
鉑（Pt）ppb≤	100	10	1
鍶（Sr）ppb≤		10	1
鉈（Tl）ppb≤		10	1
錫（Sn）ppb≤	20	10	1
銻（Sb）ppb≤		10	1
鈦（Ti）ppb≤	100	10	1
礬（V）ppb≤		10	1
鋅（Zn）ppb≤	50	10	10
顆粒（≥0.5μm）個/ml≤	25	25	25
顆粒（≥0.3μm）個/ml≤		150	150
顆粒（≥0.2μm）個/ml≤		300	300

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